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激光电镀技术的优势
发表时间: 2020-06-02 0:03:40浏览: 76
【文本】激光电镀是一种新兴的高能束电镀技术,对微电子器件和大规模集成电路的生产和修复具有重要意义。目前,尽管仍在研究激光电镀,激光烧蚀,等离子激光沉积和激光喷涂的原理,但是该技术已经在实际使用中。当在电镀浴中对阴极表面照射连续激光或脉冲激光时,不仅可以大大提高金属沉积速度,而且计算机还可以控制激光束的运动轨迹,从而获得非屏蔽涂层。预期的复杂几何形状。在1980年代,开发了一种新的激光喷射增强电镀技术,该技术将激光增强电镀技术与电镀液喷涂相结合,使激光和电镀液同时在阴极表面射出。传质速度大大超过了激光辐照引起的传质速度。微观搅拌的传质速度达到了很高的沉积速度。激光电镀是经典技术与现代技术的典型结合,是一种新兴的高能束流电镀技术。使用激光技术可以提高金属沉积速度,并将效率提高1000倍。在电镀浴的阴极表面上照射连续激光或脉冲激光时,不仅可以提高沉积速度,而且计算机可以控制激光束的轨迹。获得预期的复杂几何形状的非屏蔽涂层。与普通电镀相比,它的优点是:(1)沉积速度快,如激光镀金可达1mu,m / s,激光镀铜可达10mu,m / s,激光喷涂金镀高达12mu,m / s。 s,激光喷镀铜可以达到50mu,m / s,(2)仅在激光辐照区域发生金属沉积,无需遮挡措施即可获得局部沉积涂层,从而简化了生产工艺,(3)大大提高了键合力,(4)易于实现自动控制,(5)节省了贵金属,(6)节省了设备投资和加工时间。
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